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Vacuum Parts

DIFFUSION PUMP OIL (Lion-A, Lion-S)

1특징

배기 스피드가 크며, 오일 역류량이 극히 적다.
황 산화성이 크며, 사용중 공기와 접촉해도 배기 특성 및 압력 회복 특성은 대단히 우수합니다.
진공적 제특성 및 가격적으로 실리콘계, 폴리페닐에테르계 오일에 비해 유리합니다.
동, 철 등의 금속 또는 수증기와 같은 이물질과 높은 온도에서 접촉해도 화학적 안정성이 높습니다.
오염, 오물(진공계 내에서 부생하는 잔존가스 및 잔존물의 방해)의 영향이 적습니다.

2제원

Model		Lion-A	Lion-S	Lion-C
비중	15/4℃	0.91	0.904	0.91
외관	25℃	담황색 액체	담황색 액체	담황색 액체
인화점	℃	210이상	220이상	210이상
동점도	40℃(cSt)	29	37	31
증발잠열	cal/g	약 45	약 45	약 45
유동점	℃	-5	-5	-5
동판부식		1	1	1
역류량	mg/min/cm^-5	-	6x10^-3	-
도달압력	pa	5.3x10^-5	5.3x10^-7	1.3x10^-4

ROTARY PUMP OIL (L-1000)

1특징

배기가스에 강하고, 증기압이 낮아 고진공을 얻을 수 있습니다.
긴 수명과 오일 교환 횟수가 감소합니다.
높은 온도에서 정제된 광유물이기 때문에 산화 안정서어 및 수분 분리성이 양호합니다.
점도 지수가 높으므로 유온도가 높더라도 고진공을 얻을 수 있습니다.

2용도

각종 화학공업, 반도체 제조장치 및 각종 진공 압축기의 내부 윤활유 등의 용도로 사용됩니다.
특히 로터리 펌프 오일로써 뛰어납니다.

3제원

		CLESUPAR L-1000	CLESUPAR L-700	CLESUPAR L-400	CLESUPAR S-70DX	CLESUPAR S-40DX	CLESUPAR S-70X	CLESUPAR S-35C
비중	15/4℃	0.8825	0.88	0.875	0.902	0.908	0.902	0.91
색	ATM	L2.0	L0.5	L0.5	황색투명	황색투명	갈색투명	담황색투명
인화점	℃	252	240	230	215이상	215이상	215이상	210이상
동점도	40℃	100.7	71.2	47.6	67.36	49.95	85.09	31.1
동점도	100℃	11.42	9.04	7.06	9.51	7.31	11.66	5.12
점도지수		100	101	106	121	106	128	89
유동점	℃	-10	-10	-12.5	-20	-20	-35	-20
동판부식		1a	1a	1a
증기압 (50℃)	Pa (Torr)	1.3x10^-3이하 1x10^-5이하	1.3x10^-3이하 1x10^-5이하	1.3x10^-3이하 1x10^-4이하	1.5x10^-6	3.8x10^-6	1.0x10^-5	2.0x10^-6
작동압력	(Torr)	5x10^-3이하	5x10^-3이하	5x10^-3이하	5x10^-3이하	5x10^-3이하	5x10^-3이하	5x10^-3이하

Evaporation Source: 1BD

1CE

VACUUM GAUGE

1Presure Range of Vacuum gauge

Vacuum Gauge	Model	10^-6	10^-5	10^-4	10^-3	10^-2	10^-1	1	10¹	10²	10³	10⁴	Gauge Tube
PIRANI GAUGE	PG-100S												P-100M
	PG-100SC
	PG-200
	PG-200C
	PG-IDC
	PG-1ACT
IONIZATION GAUGE	IGL-7												IGL-7
	IGL-7C												IGL-7
	IG-8												IGL-8
	IG-8C
	IG-8D
	IG-8DC
	IGL-8AC
	IGL-9ADC												HPG-9
	IG-5ADC												HPG-4, HPG-6, IGT-7, IGT-8
PENNING GAUGE	DG-6												DGT-6
PENNING GAUGE	DG-6												DGT-6
VACUUM SWITCH	VS-400M												P-100M
VACUUM SWITCH	VS-500M												DGT-6

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