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Vacuum Parts

DIFFUSION PUMP OIL (Lion-A, Lion-S)

1특징

  • 배기 스피드가 크며, 오일 역류량이 극히 적다.
  • 황 산화성이 크며, 사용중 공기와 접촉해도 배기 특성 및 압력 회복 특성은 대단히 우수합니다.
  • 진공적 제특성 및 가격적으로 실리콘계, 폴리페닐에테르계 오일에 비해 유리합니다.
  • 동, 철 등의 금속 또는 수증기와 같은 이물질과 높은 온도에서 접촉해도 화학적 안정성이 높습니다.
  • 오염, 오물(진공계 내에서 부생하는 잔존가스 및 잔존물의 방해)의 영향이 적습니다.

2제원

Model Lion-A Lion-S Lion-C
비중 15/4℃ 0.91 0.904 0.91
외관 25℃ 담황색 액체 담황색 액체 담황색 액체
인화점 210이상 220이상 210이상
동점도 40℃(cSt) 29 37 31
증발잠열 cal/g 약 45 약 45 약 45
유동점 -5 -5 -5
동판부식 1 1 1
역류량 mg/min/cm-5 - 6x10-3 -
도달압력 pa 5.3x10-5 5.3x10-7 1.3x10-4
ROTARY PUMP OIL (L-1000)

1특징

  • 배기가스에 강하고, 증기압이 낮아 고진공을 얻을 수 있습니다.
  • 긴 수명과 오일 교환 횟수가 감소합니다.
  • 높은 온도에서 정제된 광유물이기 때문에 산화 안정서어 및 수분 분리성이 양호합니다.
  • 점도 지수가 높으므로 유온도가 높더라도 고진공을 얻을 수 있습니다.

2용도

  • 각종 화학공업, 반도체 제조장치 및 각종 진공 압축기의 내부 윤활유 등의 용도로 사용됩니다.
  • 특히 로터리 펌프 오일로써 뛰어납니다.

3제원

CLESUPAR
L-1000
CLESUPAR
L-700
CLESUPAR
L-400
CLESUPAR
S-70DX
CLESUPAR
S-40DX
CLESUPAR
S-70X
CLESUPAR
S-35C
비중 15/4℃ 0.8825 0.88 0.875 0.902 0.908 0.902 0.91
ATM L2.0 L0.5 L0.5 황색투명 황색투명 갈색투명 담황색투명
인화점 252 240 230 215이상 215이상 215이상 210이상
동점도 40℃ 100.7 71.2 47.6 67.36 49.95 85.09 31.1
100℃ 11.42 9.04 7.06 9.51 7.31 11.66 5.12
점도지수 100 101 106 121 106 128 89
유동점 -10 -10 -12.5 -20 -20 -35 -20
동판부식 1a 1a 1a
증기압
(50℃)
Pa
(Torr)
1.3x10-3이하
1x10-5이하
1.3x10-3이하
1x10-5이하
1.3x10-3이하
1x10-4이하
1.5x10-6 3.8x10-6 1.0x10-5 2.0x10-6
작동압력 (Torr) 5x10-3이하 5x10-3이하 5x10-3이하 5x10-3이하 5x10-3이하 5x10-3이하 5x10-3이하
Evaporation Source

1BD

1CE

VACUUM GAUGE

1Presure Range of Vacuum gauge

Vacuum
Gauge
Model 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 101 102 103 104 Gauge
Tube
PIRANI
GAUGE
PG-100S P-100M
PG-100SC
PG-200
PG-200C
PG-IDC
PG-1ACT
IONIZATION
GAUGE
IGL-7 IGL-7
IGL-7C
IG-8 IGL-8
IG-8C
IG-8D
IG-8DC
IGL-8AC
IGL-9ADC HPG-9
IG-5ADC HPG-4, HPG-6, IGT-7, IGT-8
PENNING
GAUGE
DG-6 DGT-6
DG-6
VACUUM
SWITCH
VS-400M P-100M
VS-500M DGT-6